静电卡盘耐刻蚀涂层加工

通过采用先进的等离子喷涂技术和陶瓷粉未材料，在半导体刻蚀机静电卡盘表面喷涂耐刻蚀喷涂层。我们盲在提升这些部件的耐刻蚀、耐腐蚀性、耐磨性能，从而确保晶圆蚀刻过程的稳定性和产品质量的可靠性。
工艺参数:喷涂零部件:静电卡盘喷涂工艺:等离子喷涂，进口设备，机械手喷涂。喷涂材料:氧化钇喷涂厚度:100-300um
企业优势:进口等离子喷涂设备，10年+喷涂加工生产经验，2万平方生产基地，专业喷涂技术人员，10条+喷涂生产线，配套净化车间质检室。
产品优势:
刻蚀机是晶圆生产过程中极为重要的一个环节，刻蚀机的腔室(Chamber)在刻蚀过程中受等离子体的侵蚀而失效。西科公司经过等离子陶瓷喷涂处理的静电卡盘表面耐刻蚀性能和耐老性能大幅提升，在长时间的蚀刻过程中，都能保持良好的性能状态，降低了污染蚀刻晶圆的风险，蚀刻过程稳定性提高，产品良品率得到有效提升设备使用寿命延长。